MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

왜 무연 반도체 건조에 적외선을 사용하는가? MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 매우 위험한 작업입니다. 아주 작고 섬세한 미세 구조들에서 물방울 하나라도 제거해야 하지만, 그 과정에서 웨이퍼가 손상되거나 변형되어서는 안 됩니다. 오랫동안 사람들은 대류식 오븐이나 화...