도구를 가열하는 것을 그만두고 웨이퍼를 가열하기 시작하십시오. 일반적인 적외선 램프는 본질적으로 전구와 같아서 열을 모든 방향으로 방출합니다. 웨이퍼 처리 장비에서는 이러한 상황이 큰 문제가 됩니다. 열을 높이면, 그 에너지의 상당 부분이 웨이퍼에 도달하지 못하고 대...

검사 과정에서는 안정성이 분 단위가 아닌 도 단위로 측정됩니다. 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 약간의 온도 변화만으로도 치명적인 결과가 초래될 수 있으며, 불순물의 존재도 전체 결과에 큰 영향을 미칩니다. 우리는 이러한 변수들을 제거하기 위해 이러한 검사용 히터를...