웨이퍼 오븐용 SK15 적외선 램프

웨이퍼 건조나 포토레지스트 소성 과정에서 발생하는 온도 변동은 단순한 비효율성에 그치지 않고, 결국 제품의 품질을 저하시키는 원인이 됩니다. 웨이퍼 전체에 3°C 정도의 온도 차이가 생기면, 웨이퍼의 치수가 정확하지 않아집니다. 또한, 온도 상승 속도가 너무 느리면...