Waferlerin Kurutulması Sırasında Lambaların Patlamasını Önlemek
Waferleri kuruturken mükemmel bir termal profil gereklidir. Bu kadar basit. Ancak sorun şu: Eğer lambanın elektriksel bağlantısında bir sızıntı olursa veya yalıtım malzemesi bozulursa, sadece bir lambayı kaybetmiş olmazsınız; aynı zamanda bir dizi wafer de mahvolur ve kontrol paneli de hasar görür. Bu durum, iş yerinde oldukça pahalıya mal olur.
Bunu önlemek için iki unsur üzerinde yoğunlaşıyoruz: dielektrik dayanıklılık ve yalıtım direnci.
“Stres Testi”
Tahminde bulunmuyoruz. Her lambayı %100 voltaj dayanım testine tabi tutuyoruz. Temelde, lambaya, makinede karşılaşacağından çok daha yüksek bir voltaj uyguluyoruz. Neden mi? Çünkü kuvars içinde küçük bir çatlak veya yalıtım malzemesinde ince bir nokta varsa, akım oradan geçebilir. Buna “arızalanma” diyoruz. Bu tür durumların fabrikamızda meydana gelmesini tercih ederiz; çünkü böylece üretim sürecinin ortasında makinenizin kısa devre yapmasını engellemiş oluruz.
“Sızıntılarla Mücadele”
Bir lamba yüksek voltaj darbesine dayanabilse bile hâlâ “sızıntı” yaşayabilir. Bu durum belirsiz olabilir, ancak tehlikelidir. Akımın tam istenen yerde kalmasını sağlamak için yalıtım direncini ölçüyoruz. Bu kurutma istasyonlarında her şey sıkıca paketlenmiştir. Eğer direnç biraz bile düşerse, hassas elektronik cihazları bozan “parazit akımlar” oluşur. Biz de yalıtım malzemelerimizi, aşırı sıcaklıklarda bile yüksek mega-ohm değerlerini koruyacak şekilde tasarlıyoruz.
Isı Sorunu
İşte asıl zorluk burada: Yüksek güçlü lambalar inanılmaz miktarda ısı üretir. Sıcaklık arttıkça bazı yalıtım malzemeleri işlevini yitirmeye başlar. Mükemmel bir kurutma elde etmek için lambayı ne kadar yüksek sıcaklıkta çalıştırırsanız, yalıtım malzemesinin stabil kalması o kadar zorlaşır. Eğer gücü maksimum seviyeye çıkarırsanız, soğutma sisteminizin mükemmel olması gerekir. Eğer gövde aşırı ısınırsa, yalıtım malzemesi zamanla bozulur. Sonunda topraklama hatası meydana gelir. Lambalarımızı extreme koşullar altında test ediyoruz. Böylece güvenlik şeması oluşur ve siz de gece rahatça uyuyabilirsiniz.