Hãy ngừng lãng phí thời gian: Tại sao phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại lại vượt trội hơn phương pháp sử dụng không khí nóng để sưởi các tấm wafer?
Nếu bạn từng làm việc trong lĩnh vực chế tạo linh kiện bán dẫn, chắc hẳn bạn đã từng cảm thấy bực bội vì phải chờ đợi quá lâu. Việc sử dụng không khí nóng để sưởi giống như việc cố gắng làm ấm cả ngôi nhà chỉ để có thể uống một tách cà phê. Bạn phải làm ấm toàn bộ buồng sản xuất trước, sau đó mới làm ấm không khí, và cuối cùng mới làm ấm tấm wafer. Quy trình này rất chậm và phiền phức. Nó khiến bạn mất đi nhiều thời gian quý báu.
Trong khi đó, phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại thì khác. Phương pháp này loại bỏ được bước trung gian đó. Thay vì sử dụng không khí, năng lượng được truyền trực tiếp vào tấm wafer.
Đó là phương pháp nhanh chóng. Rất nhanh.
Khi sử dụng không khí nóng, bạn phải đối mặt với hiện tượng trễ nãi do tính chất cản nhiệt của không khí. Bạn phải mất rất nhiều thời gian để làm ấm hoặc làm lạnh tấm wafer. Đó là thời gian mà bạn không thể lấy lại được, và điều này ảnh hưởng tiêu cực đến tốc độ sản xuất của bạn.
Với đèn hồng ngoại, bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn trong vài giây thôi. Điều này giúp bạn kiểm soát tốt hơn quá trình sưởi. Bạn không cần phải chờ đợi máy quạt hoạt động; bạn có thể bắt tay vào công việc ngay lập tức.
Nhưng bạn không thể chỉ đơn giản đặt đèn vào đó là xong. Khoảng cách giữa nguồn sáng và tấm wafer rất quan trọng. Nếu đặt đèn quá gần, bạn sẽ gặp tình trạng nóng quá mức ở một số vị trí trên tấm wafer. Ngược lại, nếu đặt đèn quá xa, bạn sẽ mất đi tốc độ mà mình mong muốn.
Chúng tôi thường tính toán một khoảng cách an toàn nhất định để đảm bảo rằng nhiệt lượng được phân bố đều trên toàn bộ diện tích tấm wafer. Ngoài ra, vì các mảng đèn hồng ngoại có khả năng phát ra lượng năng lượng lớn, bạn cần có bộ tản nhiệt hiệu quả. Nếu không, các thiết bị khác sẽ phải chịu tác động của nhiệt độ cao, và chắc chắn không ai muốn máy móc của mình quá nóng khi sử dụng.
Thành thật mà nói, tia hồng ngoại không phải là giải pháp hoàn hảo cho mọi tình huống. Có một sự đánh đổi cần được xem xét. Với lò sưởi thông thường, nếu tấm wafer lệch vài milimét, thì cũng chẳng sao cả. Nhưng với tia hồng ngoại, việc xác định vị trí rất quan trọng. Chỉ cần một sai số nhỏ thôi cũng có thể khiến tấm wafer bị hư hỏng.
Về cơ bản, bạn đang đánh đổi sự đơn giản của phương pháp sử dụng không khí nóng lấy tốc độ nhanh của tia hồng ngoại. Đối với hầu hết chúng ta, đó là sự đánh đổi xứng đáng.