Hãy ngừng việc sưởi ấm thiết bị và chuyển sang việc sưởi ấm tấm wafer thay vì vậy.
Các bóng đèn hồng ngoại thông thường về cơ bản cũng giống như những bóng đèn thông thường – chúng phát ra nhiệt lượng theo mọi hướng. Trong trường hợp này, điều này thật là tồi tệ.
Khi bạn tăng cường mức độ nhiệt, một lượng lớn năng lượng đó không chiếu vào tấm wafer mà lại đập vào các bức tường bên trong máy. Kết quả là các bức tường này trở nên quá nóng, có thể làm biến dạng các bộ phận bên trong máy, hoặc tệ hơn nữa, gây bỏng cho người vận hành khi tiến hành bảo trì.
Làm thế nào để đưa nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết?
Chúng ta giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng công nghệ hồng ngoại có khả năng chiếu sáng theo một hướng cụ thể. Thay vì chỉ sử dụng ống thạch anh thông thường, chúng ta sử dụng các tấm phản xạ và lớp phủ chuyên dụng.
Hãy coi đó như một chiếc đèn pin thay vì một ngọn nến. Chúng ta buộc năng lượng hồng ngoại phải chiếu trực tiếp lên bề mặt tấm wafer, tránh để nó chiếu vào vỏ máy. Nhờ vậy, chúng ta có thể tránh lãng phí năng lượng. Ngoài ra, bề mặt bên ngoài của thiết bị vẫn giữ được nhiệt độ vừa phải, giúp tạo môi trường làm việc an toàn hơn.
Điểm khó khăn
Tất nhiên, đây không phải là giải pháp “đặt xong thì quên đi”. Việc này đòi hỏi sự cân bằng giữa yếu tố quang học và công suất. Để có được chùm ánh sáng chính xác, hình dạng của các tấm phản xạ phải được điều chỉnh chuẩn xác. Nếu bóng đèn di chuyển vài milimét thôi, chùm ánh sáng sẽ bị lệch hướng. Kết quả là sẽ có những điểm quá nóng và những điểm quá lạnh trên tấm wafer, khiến hiệu suất sản xuất bị ảnh hưởng.
Một lưu ý quan trọng: Việc tập trung năng lượng sẽ khiến mọi thứ trở nên rất nóng nhanh. Nếu bạn sử dụng bóng đèn công suất cao trên một diện tích nhỏ, nhiệt độ có thể vượt quá mức cho phép. Bạn cần điều chỉnh bộ điều khiển PID để đáp ứng được tốc độ phản ứng nhanh hơn.
Một số mẹo thực tế dành cho nhà máy
Khi lắp đặt thiết bị, hãy kiểm tra lại vị trí của các tấm phản xạ kỹ lưỡng. Một tấm gương bị lệch chút xíu cũng có thể làm hỏng quy trình sản xuất – nó sẽ khiến nhiệt lượng chiếu trở lại vào vỏ máy, điều mà chúng ta muốn tránh. Ngoài ra, hãy giữ cho các tấm gương luôn sạch sẽ. Chỉ cần một chút bụi hay lớp bẩn trên bề mặt gương cũng đủ khiến chùm ánh sáng bị lệch hướng. Khi đó, thiết bị của bạn sẽ trở thành một “chiếc máy sưởi” khổng lồ và tốn kém.