Ngăn chặn nguy cơ nổ tung của các thiết bị gia nhiệt dùng để làm nóng wafer
Hãy thừa nhận rằng việc sưởi ấm wafer trong môi trường có chất dễ cháy hoặc nổ quả là một công việc đầy rủi ro. Khi làm việc trong môi trường như vậy, chiếc đèn hồng ngoại thông thường không chỉ là công cụ hỗ trợ mà còn là nguyên nhân gây ra tai nạn. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hay điểm nóng trên bộ phận kết nối thôi cũng đủ gây ra hỏa hoạn. Đó là tình huống kinh khủng khiến nhiều kỹ sư lo lắng suốt đêm.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách loại bỏ hoàn toàn các loại đèn hoạt động ngoài trời. Thay vào đó, chúng tôi bọc toàn bộ thiết bị vào lớp vỏ chuyên dụng, được thiết kế để chống chịu được các chất hóa học mạnh. Điều này tạo thành một “bức tường” vật lý, ngăn chặn các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi tiếp xúc với các bộ phận hoạt động của thiết bị. Đó là cách duy nhất để đảm bảo an toàn.
Cân bằng nhiệt độ
Điều khó khăn là làm sao để vỏ bọc không làm nóng chính chiếc đèn. Chúng tôi thiết kế vỏ bọc sao cho có thể hút nhiệt ra khỏi các bộ phận hoạt động của đèn, đồng thời truyền năng lượng hồng ngoại đến đúng vị trí cần thiết – đó là wafer. Điều này giúp duy trì nhiệt độ ổn định. Nếu bạn thực hiện công việc ăn mòn hoặc sấy khô bằng hóa chất, bạn cần đảm bảo rằng nhiệt độ phải đồng đều; nếu không, bạn sẽ lãng phí silicon quý giá.
Sự thật là có sự đánh đổi
Tất cả những biện pháp bảo vệ này đều khiến thiết bị trở nên nặng hơn. Do đó, thiết bị sẽ có độ trễ trong việc khởi động và tắt. Bạn cần điều chỉnh các bộ điều khiển PID để bù đắp cho sự chậm trễ này. Nhưng đó là cái giá nhỏ để tránh những hậu quả nghiêm trọng.
Việc lắp đặt
Chúng tôi thiết kế các thiết bị này sao cho có thể thay thế dễ dàng cho các thiết bị hiện có. Chúng tôi sử dụng dây cáp chịu lực và các bộ phận kín để ngăn chất lỏng xâm nhập vào bên trong. Nếu sàn nhà của bạn chứa nhiều chất hóa học mạnh, đây chính là giải pháp tốt nhất. Đó là cách duy nhất để đảm bảo quy trình sản xuất diễn ra thuận lợi mà không gây nguy hiểm cho toàn bộ tòa nhà.