Hãy ngừng lãng phí thời gian với phương pháp sử dụng không khí nóng: Tại sao UHP Infrared mới là giải pháp tốt nhất
Nếu bạn vẫn còn sử dụng phương pháp sử dụng không khí nóng trong quy trình chế tạo semiconductors, có lẽ bạn đang lãng phí rất nhiều thời gian vào việc chờ đợi.
Hãy nghĩ xem cách thức hoạt động của không khí nóng: Bạn phải làm nóng không khí, sau đó đẩy nó đi khắp nơi, rồi chờ cho đến khi wafer đạt được nhiệt độ mong muốn. Trong các nhà máy sản xuất với khối lượng lớn, sự chậm trễ này thật sự rất nguy hiểm. Nó làm giảm lợi nhuận và làm chậm toàn bộ quy trình sản xuất.
Ánh sáng trực tiếp chiếu vào mục tiêu
Các bóng đèn UHP thay đổi hoàn toàn cách thức này. Thay vì làm nóng toàn bộ căn phòng, chúng sử dụng bức xạ sóng ngắn để truyền năng lượng trực tiếp vào bề mặt wafer. Điều này diễn ra ngay lập tức, không cần chờ đợi không khí di chuyển hay gây ra sự chậm trễ về mặt nhiệt độ. Đó chính là ưu điểm lớn của phương pháp này.
Điều tốt nhất là bạn có thể loại bỏ những chiếc quạt lớn và hệ thống ống dẫn khí cồng kềnh. Diện tích thiết bị sẽ giảm đi, và thời gian xử lý cũng giảm xuống. Đó chính là một lợi ích lớn.
Giữ cho môi trường sạch sẽ
Trong môi trường sử dụng bóng đèn UHP, chỉ cần một hạt bụi nhỏ hoặc một phân tử khí lạc lõng cũng có thể phá hủy toàn bộ số wafer. Vì vậy, chúng ta cần sử dụng các vật liệu chất lượng cao, không gây ra hiện tượng phát khí hoặc tạo ra các hạt bụi. Như vậy, môi trường sẽ luôn sạch sẽ.
Nhưng có một điều cần lưu ý: Hãy chú ý đến nguồn điện cung cấp. Nếu nguồn điện dao động, nhiệt độ trên bề mặt wafer sẽ không đồng đều. Bạn cần đảm bảo rằng nhiệt độ được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt wafer.
Nhược điểm (vì luôn có những điều tiêu cực)
Tôi không thể nói rằng đây là giải pháp “đơn giản và dễ sử dụng”. Không phải vậy đâu. Mật độ nhiệt từ ánh sáng IR rất cao. Nếu bạn thay thế bóng đèn mà không kiểm tra hệ thống làm mát, bạn sẽ gặp rất nhiều vấn đề. Bạn có thể làm hỏng vỏ thiết bị hoặc làm hỏng các cảm biến trong thiết bị.
Trước khi quyết định sử dụng phương pháp này, hãy kiểm tra kỹ hệ thống làm mát của mình. Khi mọi thứ đã được chuẩn bị ổn thỏa, hiệu suất sản xuất của bạn sẽ tăng lên ngay lập tức. Chỉ cần chuẩn bị sẵn sàng – vì một khi việc làm nóng không còn là rào cản nữa, có lẽ bạn sẽ gặp phải những vấn đề khác liên quan đến việc quản lý nhiệt độ. Đó chính là bản chất của công nghệ này.