In der Fertigungshalle ist eine Schwankung der Trocknungs Temperatur kein kleines Problem – sie hat erhebliche Auswirkungen auf die Produktqualität. Die Parameter für das Weiche und Harte Trocknen sind ohnehin schon eng gefasst. Wenn das thermische Profil über der Wafer nicht einheitlich ist, zeigen sich nach der Behandlung Dimensionierungsfehler. Wir haben diesen Lampenkolben entwickelt, um solche Schwankungen von vornherein zu verhindern.
Was wirklich wichtig ist: Wir verwenden Kurzwellenhalogendioden in Quarzkapseln – sie zeichnen sich durch schnelle Reaktionszeiten und stabile Spektrumseigenschaften aus. Die Lampe gewährleistet eine gleichmäßige Temperatur von ±0,1°C über die gesamte Fläche des Chucks; die Genauigkeit der Einstellungen liegt bei ±0,5°C. Die Leistung wird auf 300–400 nm kalibriert, damit die Absorption des Fotoleitmittels konstant bleibt – dadurch bleibt auch die Verdunstung der Lösungsmittel konstant. Die Lampe passt in Standardlampensockel mit definierten Spannungs- und Leistungsparametern. Zudem ist sie für Reinräume der Klassen 1 bis 100 geeignet. Die versiegelte Geometrie sowie die materialbedingten geringen Gasemissionen tragen dazu bei, die Entstehung von Partikeln zu reduzieren.
Warum das in der Lithografie funktioniert: Der Trocknungsprozess legt die Grundlage für die Kontrolle der Linienbreite sowie der Defektdichte. Mit dieser Lampe bleibt das thermische Profil stabil – dadurch bleiben die Profile für das Weiche und Harte Trocknen im gewünschten Bereich.
Die Vorteile sind praktisch: Weniger Nacharbeiten, eine genauere Steuerung der kritischen Abmessungen sowie vorhersehbare Zykluszeiten. Durch effiziente Umwandlung von Energie und schnelle Stabilisierung sinkt der Energieverbrauch. Zudem bietet die Lampe eine Lebensdauer von 5.000+ Stunden bei weniger als 5% Leistungseinbußen – dadurch werden Ersatzteile eingespart.
Ein paar Hinweise zur Montage: Bei der Montage muss die Lampe an die Geometrie des Reflektors sowie an den thermischen Kontrollkreis des Geräts angepasst werden. Überprüfen Sie außerdem die Emissivität des Chucks sowie die Position der Sensoren – sonst besteht das Risiko von Überschreitungen der Parameter.
Die Lampe hat einen definierten Betriebstemperaturbereich. Wenn dieser überschritten wird, steigt das Risiko von Partikeln und die Lebensdauer der Lampe verringert sich. Verwenden Sie geeignete Halterungen und handhaben Sie die Lampe entsprechend den Vorgaben, damit keine Kontamination entsteht.