جلوگیری از آسیبهای ناشی از ترک خوردن لامپها: حفظ تمیزی ویفرها در صورت خرابی گرمکنها
در محیطهای تولید نیمههادی با حجم بالا، خراب شدن لامپهای مادون قرمز، مشکلی فراتر از یک مشکل تعمیراتی ساده است؛ بلکه یک فاجعه واقعی محسوب میشود.
تصور کنید که لوله کوارتزی درون دستگاه شما منفجر شود؛ در این صورت، تکههای شیشهای و گاز هالوژن به طور مستقیم روی ویفرهای شما میافتند. در نتیجه، بازدهی تولید شما از بین خواهد رفت.
ما گرمکنهای مادون قرمز را به گونهای طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
دلایل خراب شدن لامپها
معمولاً، دلیل خراب شدن لامپها، شوک حرارتی یا نقاط گرم شدید است. برای مقابله با این مشکلات، از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ ضخامت دیواره این کوارتز به گونهای است که بتواند با چرخههای سریع گرمایش و سرمایش مقابله کند، بدون اینکه ترک بخورد.
اما ما در اینجا متوقف نشدیم؛ یک پوشش تقویتشده نیز اضافه کردیم. دلیل این کار این است که اگر فیلامنت لامپ خراب شود، لوله کوارتزی ترک نخواهد خورد و شکل خود را حفظ خواهد کرد؛ در نتیجه، احتمال وقوع انفجاری خطرناک وجود نخواهد داشت.
جلوگیری از ورود ذرات غیرمرغوب
ما از روشهای دیگری نیز برای جلوگیری از ورود ذرات غیرمرغوب استفاده میکنیم؛ با استفاده از پوششهای کوارتزی با دمای بالا، ما در واقع یک دیواره بین عنصر گرمایشی و محیط تولید ایجاد کردهایم. این کار باعث میشود که مواد داخل لامپ در جای خود باقی بمانند و وارد محیط دستگاه نشوند.
یک نکته مهم در مورد سیمها: محلهای اتصال سیمها معمولاً اولین قسمتی هستند که تحت تأثیر گرما قرار میگیرند؛ ما از درپوشهای تقویتشده برای جلوگیری از نشت گرما استفاده میکنیم.
تعادل بین قدرت گرمایش و مزایا
البته، یک معادله وجود دارد؛ شما میخواهید قدرت گرمایش بالاتری داشته باشید تا ویفرها سریعتر به دمای مورد نیاز برسند. اما قدرت بیشتر، فشار بیشتری بر کوارتز وارد میکند. اگر بخواهید چگالی گرمایی بالاتری داشته باشید، باید مطمئن شوید که سیستم تهویه دستگاه، گرمای اضافی را از بین ببرد. اگر محیط اطراف بیش از حد گرم شود، لامپها سریعتر خراب خواهند شد.
ما این لامپها را به عنوان جایگزینهای مناسب طراحی کردهایم؛ شما میتوانید آنها را به سرعت تعویض کنید، دستگاه را بسته نگه دارید و بدون خطر برای محیط، به کار خود ادامه دهید.