真空対応の赤外線ヒーター

ウェーハに最も多くの熱を与える方法 真空環境下で作業すると、対流がなくなってしまいます。熱を運ぶための空気がないのです。そのため、放射によってだけ熱が伝わりますが、これはかなり難しい問題です。 ウェーハ用の赤外線ヒーターを設計する際、最も大きな問題は「熱の漏れ」です。貴重なエネルギーがチャンバーの...