Mengapa kita beralih kepada penggunaan sinar inframerah untuk proses pengeringan semikonduktor tanpa plumbum
Ketika kita ingin mengeringkan wafer sensor MEMS, kita sebenarnya sedang melakukan tugas yang sangat berisiko. Kita perlu memastikan setiap titik air hilang sepenuhnya daripada struktur mikro yang sangat halus tersebut, tanpa merosakkan atau mengubah bentuknya.
Untuk waktu yang lama, orang ramai bergantung pada ketuhar konveksi atau bahan kimia untuk melaksanakan tugas ini. Namun, industri kini semakin beralih ke standard “tanpa plumbum dan mesra alam”. Kaedah lama tersebut sudah tidak lagi sesuai digunakan. Di sinilah peranan pemanasan menggunakan sinar inframerah muncul.
Bagaimana ia berfungsi
Bayangkan ketuhar udara panas. Kita perlu memanaskan udara terlebih dahulu, kemudian biliknya, kemudian bahan pembawa haba, dan akhirnya air yang ada di permukaan wafer. Proses ini lambat dan membuang banyak tenaga.
Sinar inframerah pula berbeza. Ia tidak mempengaruhi udara sama sekali. Radiasi tersebut langsung mengenai molekul air di permukaan wafer. Suhu akan naik dengan cepat. Kerana ia sangat tepat sasaran, kita boleh mengelakkan penggunaan bahan pengering berasaskan pelarut serta bahan penstabil yang mengandungi plumbum.
Kos tenaga
Jika anda pernah menggunakan ketuhar konveksi biasa, anda pasti tahu bahawa ia sangat memerlukan tenaga. Ia perlu beroperasi 24/7 agar suhu tetap stabil.
Dengan lampu inframerah, tenaga hanya digunakan apabila penutup lampu dibuka atau lampu berkelip. Penggunaan tenaga untuk setiap wafer menjadi jauh lebih rendah. Bil elektrik anda pasti akan berkurangan.
Namun, perlu diingat bahawa haba yang dihasilkan sangat kuat. Oleh itu, kita perlu berhati-hati dengan cara memanaskan wafer tersebut. Jika suhu transisi kaca substrat tersebut rendah, kita tidak boleh memanaskannya secara langsung. Kita perlu menyesuaikan frekuensi pulsa agar wafer tidak rosak.
Pemasangan dalam bilik bersih
Ruang merupakan faktor penting dalam bilik bersih. Sistem inframerah jauh lebih kecil berbanding sistem pengeringan udara konvensional. Selain itu, tiada pam udara yang digunakan. Tanpa pam udara, tiada debu atau zarah-zarah lain yang boleh mencemari persekitaran. Ini menjadikan prosesnya lebih selamat. Ia merupakan alternatif yang lebih baik berbanding sistem lama yang besar dan rumit.
Kami memastikan bahawa pemanas ini bebas daripada plumbum, dari sambungan solder hingga ke lapisan kuarsa. Ini memudahkan kita mematuhi peraturan RoHS dan peraturan alam sekitar.
Tidak ada asap berbahaya, tiada pembaziran tenaga, dan prosesnya juga lebih bersih. Ia merupakan cara yang lebih mudah dan efisien untuk mencapai emisi sifar.