Het behouden van de veiligheid bij het verwarmen van vluchtige chemicaliën
Laten we eerlijk zijn: het verwarmen van chemicaliën voor het reinigen van halfgeleiders is een zorgwekkende taak. Als je te maken hebt met oplosmiddelen die gemakkelijk kunnen ontbranden of ontploffen, betekent één enkele vonk of een openstaand verwarmingselement niet alleen een ‘technisch probleem’. Het is een ramp.
Daarom hebben we gestopt met het gebruik van lampen met open onderdelen. In plaats daarvan omhullen we onze infraroodverwarmingsystemen met een speciale afsluiting. Het is een simpele verandering die een groot verschil maakt voor de veiligheid.
Waarom de afsluiting belangrijk is
Standaard infraroodlampen zijn uitstekend in het afgeven van warmte, maar ze laten de elektrische verbindingen en kwartstubes open staan voor de lucht. In een chemische omgeving leidt dit tot problemen. Corrigerende gassen kunnen de bedrading beschadigen of zich in de lamp nestelen.
We lossen dit op door het hele apparaat hermetisch af te sluiten. Stel je voor dat het een soort fysieke muur is tussen de hete elektrische onderdelen en de gevaarlijke gassen in de werkruimte.
We gebruiken materialen die bestand zijn tegen agressieve reinigingsmiddelen. Het doel is een luchtdichte afsluiting. Als de explosieve gassen niet naar binnen kunnen komen, kan er geen probleem ontstaan. Simpel gezegd.
Het evenwicht tussen warmte en veiligheid
Je vraagt je misschien af of het afsluiten van de lamp de prestaties negatief beïnvloedt. Dat is niet het geval. Je krijgt nog steeds de snelle responstijden die nodig zijn voor het behandelen van de wafer.
Er is echter wel een nadeel: het afsluiten van de lamp zorgt voor een opbouw van warmte en druk binnenin het apparaat. Het is een kwestie van balans. Als de behuizing te dik is, kan de infraroodwarmte niet door. Als de behuizing te dun is, kan de afsluiting breken onder de spanning.
We hebben veel tijd besteed aan het optimaliseren van deze apparaten, zodat ze continu kunnen worden verwarmd en afgekoeld zonder dat ze kapotgaan. Je zult een kleine daling in de efficiëntie merken vergeleken met een gewone lamp. Maar eerlijk gezegd? Dat is een kleine prijs om te betalen voor het voorkomen van ongelukken in de schoonruimte.
Het gemak vergroten
We wilden ook niet dat je urenlang bezig bent met onderhoud in een gevaarlijke omgeving. Daarom hebben we deze apparaten ontworpen als eenvoudige vervangbare modules. Wanneer een lamp kapotgaat, hoef je geen moeite te doen met het herstellen van de bedrading in een gevaarlijke omgeving. Je hoeft alleen de hele behuizing te vervangen door een nieuwe.
Dit zorgt voor minder stilstand. Bovendien weet je zeker dat de afsluiting perfect is, elke keer dat je een nieuwe lamp insteekt.