Op de lithografieafdeling wordt een temperatuurschommeling in de PEB niet weergegeven door een waarschuwingslicht. In plaats daarvan zie je een verschuiving in de dikte van de lijnen op de schijf. Dit leidt tot een daling van de opbrengst, wat niet kan worden vastgesteld tijdens audits. In een fabriek is thermische herhelijkbaarheid geen optie; het is eerder een vereiste voor het procesbeheer.
Wat technisch gezien belangrijk is:
We hebben de PEB-verwarmer gebouwd rondom korte golf-infraroodelementen en een kwarts基盤 die wordt gebruikt om warmte over te dragen. Hierdoor blijft de uniformiteit van de temperatuur op het oppervlak van de schijf binnen ±0,1°C. De temperatuurwaarden blijven constant, waardoor de chemische reacties van de fotoresist stabiel blijven. Het systeem is geschikt voor gebruik in een schone ruimte (klasse 1–100). De materialen die worden gebruikt, zorgen ervoor dat er geen deeltjes worden gegenereerd. Het systeem kan 24/7 draaien zonder onverwachte stilstanden. Bovendien wordt de energieverbruik geminimaliseerd, zonder dat de thermische stabiliteit in gevaar komt.
Waarom het in de praktijk werkt:
Deze verwarmer helpt om problemen zoals hete plekken, schommelingen aan de randen en trage hersteltijd na wijzigingen in de procesparameters te voorkomen. Wanneer de temperatuur constant blijft, wordt de controle over de afmetingen van de schijf beter. Hierdoor neemt het aantal herwerkingen af. De cyclusduur wordt korter, omdat het apparaat snel de gewenste temperatuur bereikt en deze behoudt. Ook daalt het aantal defecte producten, omdat de fotoresist minder last heeft van temperatuurschommelingen. Op den duur leidt dit tot lagere kosten per schijf en een betere controle over de kwaliteit.
Wat je goed moet regelen:
Tijdens de installatie moet rekening worden gehouden met de aansluitingen voor afvoer en koeling. Als de leidingen niet goed passen, kan dit leiden tot thermische schommelingen, waardoor de uniformiteit wordt verstoord. De verwarmer heeft ook een stabiele stroomvoorziening nodig, evenals een controller die is gekalibreerd op de geometrie van de kamer. Plan samen met het team dat verantwoordelijk is voor de apparatuur wanneer de integratie gaat plaatsvinden. Controleer ook of het temperatuurprofiel voldoet aan de gestelde normen.