为何我们在洁净室中放弃热风加热，转而使用红外线加热？ 在半导体加工过程中，一切都取决于一个因素：时间。如果仍然依赖热风来实现固化、干燥或除气等操作，那你一定经历过这样的困扰：烤箱的加热速度远远跟不上生产需求。正因如此，越来越多的人开始选择红外线加热方式。 传统烤箱是通过加热空气来间接加热工件，这个...

在晶圆加工过程中，晶圆干燥或光刻胶固化时的温度波动不仅会导致效率降低，还会严重影响产品良率。如果晶圆表面出现3°C的温差，就可能会使晶圆的尺寸精度受到影响。而缓慢的升温过程则可能导致溶剂残留，进而引发缺陷。SK15红外灯正是为了解决这些问题而设计的，它通过精确控制的加热方式来避免这些故障。 在这个...

在光刻工艺中，晶圆干燥炉的作用不仅仅是去除水分。它还决定了后续各次光刻胶软化处理和硬化处理时的温度参数。如果晶圆加热不均匀，哪怕只有2°C的差异，也可能会导致晶圆上的线条宽度出现偏差；而这种偏差在常规检测中是难以发现的，直到产品出现质量问题时才会被察觉。因此，我们特意设计了特殊的加热元件，以避免这...