手套箱红外加热元件

阻止碎片飞溅：在加热器出现故障时保护晶圆免受损害 在大规模半导体生产过程中，红外灯的损坏可不是简单的“维护问题”，而是一场真正的灾难。想象一下，如果石英管在手套箱内爆裂，那么玻璃碎片和卤素气体就会直接落在晶圆上，这样一来，晶圆的成品率就会降为零。 我们特意设计了高效的红外加热器，就是为了避免这种情...