曝光后烘烤装置 PEB 加热器

在光刻生产线上，PEB的温度偏差并不会通过警示灯来显示。相反，它会表现为整批晶圆上的线宽偏差，进而导致良率下降，而这种下降往往难以通过常规检测手段确定原因。在芯片制造厂中，温度的稳定性并非可有可无的要素，而是工艺控制中的关键因素。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们设计的PEB加热器采用了短波红...