防止红外灯损坏晶圆 在高负载的半导体生产环境中，哪怕只有一盏红外灯出现故障，都可能在几秒钟内毁掉整批晶圆。这简直就是一场灾难。一旦石英管破裂，玻璃碎片和污染物就会直接落在晶圆上，造成严重破坏。 因此，我们使用陶瓷端盖来解决这个问题。这虽然是个简单的解决方案，但它能够确保一切保持稳定，更重要的是，还...

在制造车间里，PECVD腔体的温度并非一个可以随意设定的参数——它直接决定了工艺的成功与否。如果基座的温度出现1°C的波动，就会导致薄膜应力发生变化，进而使刻蚀速率变得不均匀。如果红外发射器无法保持稳定的温度，那就不可能达到预定的工艺标准，最终只能得到废品。 关键在于： 我们使用封装在石英外壳中的...