可持续的制造解决方案

防止事故发生：化学处理区域中的红外加热技术 如果在半导体制造厂工作，你一定知道其中的挑战。化学清洗步骤是必要的，但这些过程中会使用到许多易挥发的溶剂。如果将普通红外灯放入这类环境中，那就不只是单纯地加热晶圆而已——实际上，这无异于为火灾埋下隐患。 我们找到了更好的解决方案。我们没有采用那种让所有部...