半导体检测工具加热器

在检测过程中，稳定性是以度来衡量的，而非分钟。在光刻胶烘焙过程中，即使只有几十分之一的温度偏差，也足以影响产品的关键尺寸；而其中的微粒污染则可能破坏整个产品的质量。我们设计了这种加热器，就是为了消除这些误差。 我们的设计思路 我们采用了短波红外元件以及石英强化结构来确保加热的均匀性。升温速度很快，...