MEMS传感器晶圆干燥加热器

为何我们要选择红外加热技术来干燥无铅半导体元件 在烘干MEMS传感器晶圆时，其实是在进行一场充满风险的作业。必须将那些极其微小的结构上的每一滴水都去除干净，同时还要避免损坏或变形这些结构。 长期以来，人们一直依靠对流式烤箱或化学剂来完成这项工作。但随着行业向“无铅、环保”的标准发展，那些旧方法已经...