工厂干燥系统的能源审计

我们为何选择红外固化技术来干燥晶圆 在制造晶圆的过程中，追求环保、无铅化并非只是为了应付审计要求，而是真正实现更清洁的工艺流程。长期以来，我们一直依赖那些大型对流式烤箱。但问题在于：加热大量空气其实是一种能源浪费。此外，流动的空气还会成为灰尘和颗粒物的传播途径，而这些物质绝不能靠近晶圆。 因此，我...