节能型晶圆加热器

如何防止晶圆加热器引发实验室灾难 说实话，在化学清洗环境中对晶圆进行加热是一项非常危险的工作。当周围存在易燃或易爆物质时，普通的红外线灯简直就是一种隐患——哪怕有一点点火花或元件过热，都可能引发火灾。这种情景足以让许多工程师夜不能寐。 为了解决这个问题，我们彻底摒弃了开放式灯具的使用方式。取而代之...