晶圆加热的安全距离

停止浪费时间：为何红外加热比热风加热更适用于晶圆处理 如果你有过半导体加工的经验，的话，就应该知道等待带来的烦恼。使用热风循环加热的方式，就好比为了加热一杯咖啡而试图让整个房子都变暖一样。首先需要加热整个腔体，然后再加热空气，最后才能加热晶圆。这个过程非常缓慢且效率低下，还会造成不必要的延迟，从而...