莱宝真空加热器备件

在光刻过程中，光阻烘烤环节是控制线宽的关键所在。即使加热器的温度出现0.5°C的波动，也可能会导致光盘直径出现偏差、表面出现瑕疵，进而造成产品报废。莱宝的真空加热器配件经过特殊设计，能够确保在真空环境下，温度始终稳定在设定范围内。 从技术层面来看，什么才是最重要的？ 我们选用高纯度石英制成的短波卤...