加热易挥发化学品时的安全措施 说实话，为半导体清洗而加热化学品是一项极其危险的工作。当处理的都是那些容易着火或爆炸的溶剂时，哪怕是微小的火花或裸露的加热元件，都可能引发灾难性后果。 因此，我们不再使用开放式加热装置。取而代之的是，我们将红外加热系统用特殊的密封结构包裹起来。这一简单的改动就能极大提...

如何防止晶圆加热器引发实验室灾难 说实话，在化学清洗环境中对晶圆进行加热是一项非常危险的工作。当周围存在易燃或易爆物质时，普通的红外线灯简直就是一种隐患——哪怕有一点点火花或元件过热，都可能引发火灾。这种情景足以让许多工程师夜不能寐。 为了解决这个问题，我们彻底摒弃了开放式灯具的使用方式。取而代之...