웨이퍼 가열기로 인해 실험실이 파괴되는 것을 막으세요.
솔직히 말해서, 화학적 세척 구역에서 웨이퍼를 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다.
가연성 물질이나 폭발성 물질을 다룰 때, 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 오히려 위험 요소가 됩니다. 작은 스파크나 터미널 부분의 과열만으로도 화재가 발생할 수 있습니다. 이는 많은 엔지니어들을 밤새도록 괴롭히는 악몽 같은 상황입니다.
우리는 이 문제를 해결하기 위해 개방형 램프를 사용하지 않습니다. 대신 모든 부품을 밀폐된 특수 케이스에 넣습니다.
비밀은 바로 ‘절연’에 있습니다.
우리는 램프에 단순히 코팅을 하고 그만두는 것이 아닙니다. 가열 요소를 고급 석영이나 세라믹 소재로 만든 케이스 안에 넣고, 그 케이스 전체를 견고한 외장으로 감싸줍니다. 이렇게 하면 용제와 같은 유해 물질들이 가열기의 작동 부품에 닿지 못합니다. 간단해 보이지만, 이것이야말로 안전하게 작업할 수 있는 유일한 방법입니다.
열의 균형을 맞추는 것
가장 어려운 점은, 케이스가 램프 자체를 손상시키지 않도록 하는 것입니다. 우리는 케이스를 설계할 때, 열이 케이스 내부로 들어가는 것을 막으면서도 적외선 에너지가 웨이퍼에 정확하게 전달되도록 했습니다. 이렇게 하면 온도가 일정하게 유지됩니다. 화학적 에칭이나 건조 작업을 할 때는 “충분하다”는 것만으로는 안 됩니다. 온도가 균일해야 하며, 그렇지 않으면 비싼 실리콘이 낭비됩니다.
솔직히 말하자면, 타협이 필요합니다.
이러한 보호 장치들은 분명히 무게를 더합니다. 시스템의 질량이 커지면 열정량도 커집니다. 그래서 순간적으로 켜지거나 꺼지는 것은 불가능합니다. 약간의 지연이 있습니다. 이러한 지연을 고려하여 PID 제어기를 조정해야 합니다. 하지만 이러한 불편함은 생산 현장에 치명적인 사고가 일어나는 것을 막기 위한 작은 대가일 뿐입니다.
사용 방법
이 제품들은 기존의 장비에 그대로 설치할 수 있도록 만들어졌습니다. 우리는 강화된 케이블과 밀폐된 연결부를 사용하여 가스가 케이블을 통해 들어오는 것을 막습니다. 만약 작업장에 유해한 용제가 가득하다면, 이 방법이 최선입니다. 이 방법만이 전체 건물을 위험에 빠뜨리지 않고 생산을 계속할 수 있는 방법입니다.