
ในโรงงานผลิตชิป ความผันผวนของอุณหภูมิระหว่างขั้นตอนการทำให้แผ่นวีเวอร์แห้งหรือการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์นั้น ไม่เพียงแต่ส่งผลให้เกิดความไม่มีประสิทธิภาพเท่านั้น แต่ยังส่งผลให้ได้ผลผลิตที่ไม่เป็นไปตามมาตรฐานอีกด้วย อุณหภูมิที่สูงเกิน 3°C บนพื้นผิวแผ่นวีเวอร์อาจส่งผลให้ขนาดของชิปเปลี่ยนแปลงไปได้ นอกจากนี้ การเพิ่มอุณหภูมิอย่างช้าๆ ยังอาจทำให้มีสารละลายตกค้าง และก่อให้เกิดข้อบกพร่องได้ ดังนั้น หลอดอินฟราเรด SK15 จึงถูกออกแบบมาเพื่อแก้ปัญหาเหล่านี้ โดยการควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำ
สิ่งที่สำคัญในกระบวนการนี้คือการควบคุมอุณหภูมิ SK15 ใช้หลอดอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งสามารถตอบสนองได้ภายในเวลาไม่กี่วินาที ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ สำหรับแผ่นวีเวอร์ขนาด 300 มม. หลอดนี้สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C นอกจากนี้ สเปกตรัมของแสงอินฟราเรดยังเหมาะสมกับการดูดซึมของวัสดุโฟโตรีซิสต์ ซึ่งช่วยลดความแปรปรวนของอุณหภูมิ ทำให้บริเวณขอบและตรงกลางของแผ่นวีเวอร์มีอุณหภูมิเท่ากัน หลอดนี้ยังเหมาะสำหรับใช้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 เนื่องจากมีการออกแบบมาให้มีฝุ่นน้อยมาก ไม่มีการปล่อยก๊าซ ไม่มีฝุ่นจากหลอดไฟ และไม่มีเศษสิ่งสกปรกจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ เราเน้นเรื่องความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ เพราะในกระบวนการผลิตชิปนั้น อุณหภูมิต้องอยู่ในขอบเขตที่กำหนดไว้ในทุกๆ รอบการผลิต
เหตุผลที่หลอดนี้มีประสิทธิภาพก็คือ กระบวนการผลิตจะมีความแม่นยำมากขึ้น สำหรับการทำให้แผ่นวีเวอร์แห้ง หลอด SK15 สามารถขจัดความชื้นได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ทำให้อุณหภูมิสูงเกินไป ทำให้ไม่มีน้ำตกค้างไปยังขั้นตอนถัดไป ส่วนในกระบวนการประมวลผลวัสดุโฟโตรีซิสต์ หลอดนี้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้มีสารละลายตกค้างน้อยลง และทำให้การยึดเกาะของวัสดุดีขึ้น ผลลัพธ์คือมีชิปที่ไม่สมบูรณ์น้อยลง สามารถควบคุมความแม่นยำของขนาดชิปได้ดี และมีประสิทธิภาพในการผลิตที่สูง นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะหลอดอินฟราเรดจะทำให้แผ่นวีเวอร์ร้อนขึ้นโดยตรง ไม่ใช่ทำให้อากาศร้อนขึ้น
การติดตั้งหลอดนี้ก็ง่ายมาก แต่ก็ยังต้องใส่ใจในรายละเอียดอยู่ดี หลอด SK15 สามารถติดตั้งได้บนแท่นอบแผ่นวีเวอร์มาตรฐาน โดยมีอินเทอร์เฟซการเชื่อมต่อที่ชัดเจน แค่ตรวจสอบให้แน่ใจว่าตัวควบคุมเตาอบสามารถรองรับโปรโตคอลการทำงานของหลอดนี้ได้ นอกจากนี้ ยังต้องมีการป้องกันความร้อนไม่ให้ส่งผลกระทบต่อชิ้นส่วนอื่นๆ ด้วย การปรับตำแหน่งหลอดให้ถูกต้องก็เป็นสิ่งสำคัญเช่นกัน แม้จะมีความเบี่ยงเบนเล็กน้อย ก็สามารถส่งผลให้เกิดความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ ดังนั้น ควรตั้งค่าหลอดให้ถูกต้องเพียงครั้งเดียว แล้วกระบวนการผลิตก็จะอยู่ภายใต้การควบคุมได้เลย