Hören Sie auf, Ihre IR-Energie zu verschwenden
Seien wir ehrlich: Energieverschwendung ist im Grunde genommen ein Konstruktionsfehler. Beim Bearbeiten von Wafern sehen wir das ständig. Die meisten Menschen verwenden weiterhin Standard-Aluminiumreflektoren – doch das Problem ist, dass viel von dieser IR-Energie einfach verloren geht oder vom Gehäuse absorbiert wird. Das ist eine Verschwendung.
Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen, die mit Gold beschichtet sind. Gold ist einfach besser darin, Infrarotlicht zurückzuschicken. Anstatt dass der Maschinenrahmen unnötig heiß wird, gelangt die Energie tatsächlich dorthin, wo sie hingehört – auf die Wafer.
Warum Gold besser ist als poliertes Aluminium
Die meisten Betriebe verwenden poliertes Aluminium, weil es die gängige Wahl ist. Es funktioniert zwar, aber bei längeren Wellenlängen versagt es. Gold hingegen kann einen viel größeren Anteil an der langwelligen IR-Strahlung auffangen. Durch die Beschichtung mit Gold können wir die Energie in einem konzentrierten Strahl bündeln. Dadurch entsteht eine höhere Wärmestärke am Zielort – ohne dass man die Leistung erhöhen muss und somit das System belastet wird.
Was die Hitze angeht…
Das Problem ist folgendes: Wenn man die Energie so stark bündelt, steigt die Temperatur der Lampe erheblich an. Man muss sicherstellen, dass die Kühlung die Hitze bewältigen kann, die nicht durch den Linsenauslass entweichen kann. Wenn der Luftstrom unzureichend ist, können die Glühfäden viel früher zerstört werden, als man möchte. Um eine stabile Temperatur über die gesamte Waferfläche zu gewährleisten, verwenden wir in der Regel solche Reflektoren zusammen mit Quarzlampen hoher Leistung. So bleibt das thermische Profil unter Kontrolle.
Wie man sie einsetzt
Die gute Nachricht: Der Austausch dieser Reflektoren ist ziemlich einfach. Meistens reicht es aus, den Reflektor einfach auszutauschen. Es ist kein Umrüsten der Verkabelung oder des Stromversorgungssystems notwendig.
Aber – und das ist wichtig – man muss die PID-Controller neu kalibrieren. Da die Goldbeschichtung dabei viel effizienter ist, werden die alten Einstellungen wahrscheinlich nicht mehr ausreichen. Man sollte die Leistung etwas reduzieren, damit das Substrat nicht versehentlich beschädigt wird.