Hören Sie auf, Zeit mit unnötigen Verfahren zu verschwenden – warum UHP-Infrarot die bessere Lösung ist
Falls Sie immer noch auf die Zirkulation von heißer Luft für den Halbleiteraufbereitungsvorgang setzen, verbringen Sie wahrscheinlich viel zu viel Zeit damit, einfach nur zu warten.
Denken Sie darüber nach, wie heiße Luft funktioniert: Man muss die Luft erst erhitzen, sie anschließend zirkulieren lassen und dann warten, bis der Wafer endlich die gewünschte Temperatur erreicht hat. In einer Produktionsstätte mit hohem Durchsatz ist diese Verzögerung katastrophal – sie verringert die Gewinne und verlangsamt alles.
Wärme, die direkt am Ziel ankommt
UHP-Lampen ändern dieses Szenario. Anstatt den Raum zu erwärmen, nutzen diese Lampen Kurzwellenstrahlung, um Energie direkt auf das Substrat abzustrahlen. Dadurch kommt es zu einer sofortigen Erwärmung – ohne Wartezeit und ohne thermische Verzögerungen. Es handelt sich dabei also um eine schnelle, direkte Wärmeverteilung.
Das Beste daran: Sie müssen keine großen Gebläse oder komplizierte Leitungsanlagen mehr verwenden. Die Ausmaße Ihrer Ausrüstung werden kleiner, und die Bearbeitungszeiten sinken. Das ist wirklich ein Gewinn für Sie.
Sauberkeit bleibt gewährleistet
In einem UHP-Umfeld kann bereits ein winziger Staubkorn oder eine einzige Gasmolekül eine ganze Charge an Wafern ruinieren. Deshalb verwenden wir hochwertigen synthetischen Quarz sowie spezielle Filamente, die keine Partikel abgeben. So bleibt alles sauber.
Ein Tipp: Achten Sie darauf, dass Ihre Stromversorgung stabil ist. Wenn die Stromversorgung schwankt, entstehen ungleichmäßige Wärmepunkte auf dem Wafer. Sie möchten schließlich, dass die Wärme jedes Mal gleichmäßig verteilt wird.
Der Nachteil (denn es gibt immer einen)
Ich werde Ihnen nicht weismachen, dass es sich dabei um eine einfache Lösung handelt. Das ist es nicht.
Die Wärmestärke des Infrarots ist sehr intensiv. Wenn Sie einfach die Lampen austauschen, ohne auf Ihr Kühlsystem zu achten, können Probleme entstehen. Die Gehäuse könnten beschädigt werden, oder die Sensoren könnten zerstört werden.
Bevor Sie zu diesem Schritt übergehen, prüfen Sie zunächst Ihr Thermoprofil. Sobald die Verkabelung und Kühlung in Ordnung sind, wird Ihre Produktivität sofort steigen. Seien Sie aber darauf vorbereitet: Wenn die Erwärmung nicht mehr das Problem ist, wird wahrscheinlich ein neues Problem im Bereich der Wärmeverteilung auftreten. Das ist einfach die Natur der Sache.