جلوگیری از انفجار لامپهای مورد استفاده برای خشک کردن ویفرها
هنگام خشک کردن ویفرها، نیاز به یک پروفایل حرارتی عالی وجود دارد. اما مشکل اینجاست که اگر در ساختار لامپ نشت الکتریکی وجود داشته باشد یا عایقبندی آن از بین برود، شما نه تنها یک لامپ را از دست میدهید، بلکه کل محموله ویفرها نیز از بین خواهد رفت؛ همچنین بورد کنترلی دستگاه نیز خراب خواهد شد. این موضوع میتواند باعث هزینههای زیادی برای کارخانه شود.
برای جلوگیری از این اتفاق، ما بر روی دو موضوع تمرکز میکنیم: استحکام الکتریکی و مقاومت عایقبندی.
«آزمایش فشار»
ما حدس نمیزنیم؛ بلکه هر لامپ را تحت آزمایش ولتاژ بالا قرار میدهیم.
در واقع، ما ولتاژ بسیار بالایی را به لامپ وارد میکنیم؛ ولتاژی که بسیار بالاتر از ولتاژی است که لامپ در دستگاه شما تجربه میکند. چرا؟ چون اگر در کوارتز لامپ ترکی کوچکی وجود داشته باشد یا در عایقبندی نقطه ضعیفی وجود داشته باشد، جریان الکتریکی از آنجا عبور خواهد کرد.
ما این پدیده را «خرابی الکتریکی» مینامیم. ترجیح میدهیم این اتفاق در کارخانه ما رخ دهد، تا اینکه دستگاه شما در حین فرآیند تولید دچار قطعی شود.
مقابله با نشت الکتریکی
گاهی لامپ میتواند در برابر ولتاژ بالا مقاومت کند، اما همچنان دارای نشت الکتریکی باشد. این موضوع خطرناک است.
ما مقاومت عایقبندی را اندازهگیری میکنیم تا مطمئن شویم جریان الکتریکی در جای مناسب خود باقی میماند. در این دستگاهها، همه چیز به خوبی بسته شده است؛ اگر مقاومت عایقبندی کمی کاهش یابد، جریانهای اضافی ایجاد خواهد شد که میتوانند به الکترونیکهای حساس دستگاه آسیب برسانند.
ما عایقبندیهای خود را طوری طراحی میکنیم که حتی در دماهای بسیار بالا نیز بتوانند مقاومت لازم را حفظ کنند.
مشکلات ناشی از گرما
چالش واقعی این است که لامپهایی با توان بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکنند.
این یک مبارزه مداوم است؛ هرچه دما بالاتر میرود، برخی از مواد عایقبندی شروع به از دست دادن قدرت خود میکنند. هرچه لامپ در دمای بالاتری کار کند، عایقبندی باید بیشتر تلاش کند تا پایداری خود را حفظ کند.
اگر توان لامپ را تا حداکثر برسانید، سیستم خنککننده باید کاملاً بهینه باشد. اگر بدنه لامپ دچار گرمای بیش از حد شود، عایقبندی نیز با گذشت زمان از بین خواهد رفت. در نهایت، مشکلات الکتریکی ایجاد خواهد شد.
ما لامپهای خود را تحت آزمایشهای سختگیرانه قرار میدهیم؛ تا شما بتوانید با خیال راحت در شب بخوابید.