클래스 100 청정실에서 열을 공급할 때는, 열원이 마치 불꽃놀이처럼 작동하는 것을 피해야 합니다. 대부분의 일반적인 히터들은 가스를 방출하거나 조각들이 떨어지는 문제가 있습니다. 만약 미세한 입자들이 웨이퍼나 광학 코팅 위에 달라붙으면, 그 제품 전체가 망가집니다. 우리도 이런 상황을 여러 번 목격했습니다. 그래서 우리는 적외선 램프에 고순도 합성 석영을 사용하기로 했습니다.
비결은 바로 석영에 있습니다. 저가의 유리나 저품질 석영은 열을 견디지 못합니다. 열 스트레스로 인해 파손되어 조각들이 떨어집니다. 반면, 고순도 석영은 급격한 온도 변화에도 깨지거나 조각나지 않습니다. 그 결과, 램프에서 나오는 것은 오직 적외선뿐입니다. 먼지도, 조각도, 문제도 없습니다.
수치와 공기 흐름에 대해 알아보자
우리는 정확한 열량을 얻기 위해 와트 수와 전압을 신중하게 조절합니다. 빠른 가열이 필요하다면, 고왓수의 튜브를 사용하는 것이 좋습니다. 하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 작업대의 공기 흐름을 확보해야 합니다. 공기 흐름이 막히면 열이 램프 내부로 다시 들어가게 됩니다. 이는 필라멘트가 손상되는 원인이 됩니다. 또한, 전기적 접촉을 원활하게 하기 위해 R7나 Sk15와 같은 특수한 커넥터를 사용합니다. 왜냐하면 느슨한 접촉은 아크를 발생시키고, 그로 인해 탄소가 남게 되기 때문입니다. 청정실에서는 탄소가 치명적인 존재입니다.
설치 시 주의사항
이 램프들은 간단하게 교체될 수 있도록 설계되었습니다. 크기가 작아서 좁은 공간에도 쉽게 설치됩니다. 하지만 주의해야 합니다. 고순도 석영은 섬세하기 때문에, 피부의 기름기를 싫어합니다. 설치할 때 맨손으로 튜브를 만지면, 그 기름기가 유리에 남아 “핫스팟”을 생성하여 튜브가 파손될 수 있습니다. 자신을 위해서라도, 반드시 먼지가 없는 장갑을 사용하세요. 2초밖에 걸리지 않으며, 이렇게 하면 램프가 너무 일찍 손상되는 것을 방지할 수 있습니다.