Stop met het opwarmen van uw apparaat en begin in plaats daarvan de wafer te verwarmen
Standaard infraroodlampen zijn in feite gewone lampen – ze geven warmte af in alle richtingen. In een apparaat voor het verwerken van wafers is dit een nachtmerrie.
Wanneer u de hitte verhoogt, bereikt een groot deel van die energie zelfs de wafer niet. In plaats daarvan wordt de energie rechtstreeks tegen de binnenwanden van het apparaat geslingerd. Hierdoor ontstaan ‘ hete wanden’, die de interne onderdelen van het apparaat kunnen beschadigen. In het slechtste geval kan dit zelfs leiden tot brandwonden bij de monteur tijdens een routinematige onderhoudsbeurt.
De warmte op de juiste plek brengen
We lossen dit op door gebruik te maken van gerichte infraroodtechnologie. In plaats van gewoon een kwartslamp te gebruiken, maken we gebruik van gespecialiseerde reflectoren en coatings.
Stel het je voor als een zaklamp in plaats van een kaars: we sturen de infrarode energie rechtstreeks naar het oppervlak van de wafer, zodat deze niet in contact komt met de wanden van het apparaat.
Omdat het lichtbundeltje beter gericht is, wordt er geen energie meer verspild aan het chassis van het apparaat. De warmte komt precies waar het nodig is. Bovendien blijft de buitenkant van het apparaat koel genoeg om aan te raken, waardoor het veiliger is om ermee te werken.
Het lastige gedeelte
Het is natuurlijk geen situatie waarin je het apparaat eenmaal instelt en het dan kunt vergeten. Het gaat erom een balans te vinden tussen de optiek en de hoeveelheid energie die wordt gebruikt.
Om een goed gericht lichtbundeltje te krijgen, moet de geometrie van de reflector perfect zijn. Als de lamp zelfs maar een paar millimeter verschuift, verandert de warmteverdeling. Dan ontstaan er hete en koude plekken op de wafer, waardoor de kwaliteit van het product negatief wordt beïnvloed.
Let er ook op: wanneer je veel energie richt op één punt, kan dat snel leiden tot hoge temperaturen. Als je een lamp met een hoge vermogen gebruikt op een klein gebied, kan de temperatuur al snel te hoog worden. Je moet dan de PID-regelaar aanpassen om dit te voorkomen.
Praktische tips voor de werkvloer
Wanneer je deze apparaten installeert, controleer dan eerst zorgvuldig of de reflectoren op de juiste plek zitten.
Een spiegel die iets scheef zit, zorgt er niet alleen voor dat het proces verstoorrd wordt, maar stuurt ook al die warmte terug naar de wanden van het apparaat. Dat is precies wat we willen vermijden.
Houd de reflectoren ook schoon. Een beetje stof of een dunne laag vuil op de spiegel kan het lichtbundeltje verspreiden. Dan werkt je apparaat net als een enorme, dure ruimteverwarmer.