与真空环境兼容的红外加热器

如何让热量更有效地作用于晶圆上 在真空环境中工作时，会遇到一个问题：对流现象消失了。没有空气来传递热量，因此只能依靠辐射来传递热量。而这就带来了不少难题。 如果您要设计用于加热晶圆的红外加热器，那么最大的挑战就是“能量泄漏”。您当然不希望宝贵的能量浪费在腔室壁上，而是希望它能够直接作用于晶圆上。...