晶圆除湿灯

在晶圆制造车间，光刻胶或晶圆界面中夹带的水分会扰乱热控制。水分会散射热量，导致软烘和硬烘曲线偏离设定目标。其后果是基底缺陷、残胶以及线宽偏差，进而影响良率。我们开发了一款晶圆除湿灯，用以消除这一变量对工艺的影响。 核心关键点 我们采用短波卤素发射器，封装在石英灯罩内，配合闭环红外测温仪。结果是实现...