レイボルド真空ヒーターのスペア部品
フォトレジストの焼成工程において、線幅の制御は非常に重要です。ヒーターの温度が0.5°Cでもずれると、CDのズレや不良品が発生します。Leyboldの真空ヒーターの予備部品は、真空中で何時間も安定した温度を維持するように設計されています。
技術的に重要な点 私たちは、高純度クォーツを使用した短波ハ...
ウェーハオーブン用SK15赤外線ランプ
ウェーハの乾燥やフォトレジストの焼成時に発生する温度変動は、単なる非効率性にとどまらず、歩留まりを低下させる要因となります。ウェーハ上で3℃もの温度差が生じると、重要な寸法が狂ってしまいます。また、昇温速度が遅いと溶剤が残留し、欠陥が生じる可能性があります。SK15赤外線ランプは、このような問題を...
タイルヒーターの下
寒い朝にバスルームに入ると、すぐにその冷たさを感じます。床のタイルが冷たく、空気も湿っており、シャワーを使い始めるとすぐに鏡が曇ってしまいます。しかし、床下型の赤外線ヒーターなら、直接表面を温めることで、部屋が冷たい場所ではなくなります。ただし、湿気の多い場所では、単に熱量だけでなく、その持続時間...
安価なウェーハ乾燥用電球
製造現場において、乾燥温度のばらつきは些細な問題ではありません。これは製品の歩留まりに大きな影響を与えます。ソフトベイクやハードベイクの期間自体が厳しく設定されているため、ウェーハ全体で温度が均一でなければ、露光後に寸法の誤差が生じます。私たちは、このようなばらつきを根本的に防ぐために、このウェー...
卸売用ウェーハ乾燥ランプ
製造現場では、スピンドライヤーから出てくるウェーハの温度が1.2℃でも偏差があると、リソグラフィーの要求条件を超えてしまうことをすぐに理解できます。ノードサイズが小さくなるにつれて、フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの許容範囲もより厳しくなります。当然のことです。ドライヤーランプは、再現性...
PECVD加熱用赤外線エミッタ
製造現場において、PECVDチャンバーの温度は単なる背景設定ではありません。それは、プロセスが成功するか失敗するかを決定する重要な要素です。サブセプターの温度が1℃だけ変動しても、フィルムの応力やエッチング速度にすぐに影響が現れます。もし赤外線エミッターが適切な性能を発揮できなければ、もはや仕様を...
ミニLEDチップパッケージングランプ
ライン上では、その300mmのウェーハが、Mini LEDチップのパッケージング工程における加熱ステップを待っています。このステップこそが、チップとウェーハの密着性や信頼性を確保するためのものです。もし加熱条件がわずかにでも変動してしまうと、フォトレジストの形状が崩れ、アンダーフィルによる空洞が生...
半導体スパッタリングヒーター
製造現場において、目標温度というのは単なる目安ではなく、必ず守らなければならない基準です。予熱段階で0.5℃でも温度が変動すると、成膜速度に影響を与えます。また、スパッタリングチャンバーが冷えてしまうと、真空状態が確立されるまでの時間が長くなり、生産効率が低下します。私たちは、このような半導体用ス...
ウェーハ乾燥オーブンの加熱素子
リソグラフィーにおいて、ウェーハ乾燥オーブンの役割は単に水分を除去するだけではありません。それは、その後行われる各種フォトレジストのソフトベイクやハードベイクのための熱的条件を決定するものです。チャック部に2℃の温度差が生じると、線幅に変化が生じますが、この変化は、測定結果には現れず、問題が発生し...
高出力電気ヒーター
もし、冬の光熱費がどんどん上がるのに、部屋が依然として寒いままだとしたら、その原因はおそらく暖房方法にあるでしょう。電気式のオイルヒーターは空気を温めますが、温かい空気は上昇して壁から外に漏れ出てしまい、足元が冷たくなってしまいます。一方、赤外線式の電気ヒーターは異なる原理で動作します。太陽光が涼...
ベースボードヒーター
狭いアパートでは、スペースが大変貴重です。そして、快適さも同様に重要です。従来のベースボードヒーターは床のスペースを占有してしまい、部屋が閉塞感を持ち、寒く感じられます。一方、壁掛け式の赤外線ヒーターを使えば、この問題を解決できます。部屋の空間を維持しつつ、人が座っている場所に直接暖かさを届けるこ...
LCDパネル製造用赤外線ヒーター
実際には、温度のばらつきというのは単なる理論上の問題ではなく、重大な問題です。LCDパネルの製造過程において、フォトレジストを加熱する際に一点だけが過度に加熱されると、画像の重ね合わせが悪くなります。また、低温の領域があると、端部分の硬化が不十分になります。私たちは、このようなばらつきを根本から解...
小売店用ヒーター
アレルギーのある人にとっては、暖房が動き出すと店舗内が苦痛な場所に変わってしまいます。ファン式のヒーターはほこりを舞い上げ、空気を乾燥させてしまうため、副鼻腔に悪影響を与えます。その結果、くしゃみや不快感が生じ、客は早く店を出たがります。
内部構造の重要性 私たちが製造する赤外線ヒーターは、中波放...
カーボンファイバー屋外ヒーター
暖まらない浴室は不快なだけでなく、毎日のエネルギーと忍耐の消耗源となる。狭い部屋はすぐに過熱し、大きい部屋は湿気が残り寒く感じる。結果としてヒーターを過大に選定し、電気代を無駄に使い、それでも快適さは得られない。温度設定を上げるだけでは解決しない。解決策は、加熱する空間に正確に合った出力を選ぶこと...
TSV スルーシリコンビア ヒーター
線上では温度ドリフトは理論ではなく不良品そのものです。TSV作業において、ウェーハ全体で0.5℃の温度差は、ビアのエッチング深さのばらつき、フォトレジストの形状不良、積層の保持不良として現れます。熱安定性を単なる期待ではなく工程要件として扱うヒーターが必要です。
技術的に重要な点 当社のTSVヒー...