IR 에너지를 낭비하지 마세요
솔직히 말해서, 에너지를 낭비하는 것은 사실상 설계상의 결함입니다. 웨이퍼 처리 과정에서 이런 문제는 항상 발생합니다. 대부분의 경우 표준적인 알루미늄 반사체가 사용되지만, 문제는 그 IR 에너지가 대부분 빠져나가거나 하우징에 흡수된다는 점입니다. 이는 명백한 낭비입니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 금은 적외선을 훨씬 더 잘 반사하기 때문입니다. 그 결과, 기계의 프레임이 불필요하게 뜨거워지는 일이 없으며, 그 에너지는 웨이퍼에 집중됩니다.
왜 금이 경면 처리된 알루미늄보다 우수한가요?
대부분의 업체들은 기준으로 삼아 경면 처리된 알루미늄을 사용합니다. 이 방식도 효과적이지만, 파장이 길어질수록 성능이 저하됩니다.
금은 다릅니다. 금은 램프에서 나오는 장파장 적외선의 상당 부분을 포착할 수 있습니다. 반사체에 금을 코팅함으로써, 그 에너지를 좁고 집중된 광선으로 만들 수 있습니다. 그 결과, 전력을 높이거나 시스템에 부담을 주지 않고도 웨이퍼에 더 많은 열을 전달할 수 있습니다.
열에 관한 한 가지 주의사항
문제는, 에너지를 너무 집중시키면 램프의 온도가 급격히 상승한다는 것입니다. 따라서, 아파처를 통과하지 못하는 열을 처리할 수 있는 충분한 냉각 시스템이 필요합니다. 만약 공기 흐름이 원활하지 않다면, 필라멘트가 예상보다 빨리 손상될 수 있습니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 안정적인 온도를 유지하기 위해, 보통 이러한 반사체와 고출력 석영 램프를 함께 사용합니다. 이렇게 하면 열 분포가 엉망이 되는 것을 방지할 수 있습니다.
설치 방법
좋은 소식은, 이러한 반사체를 교체하는 것이 꽤 간단하다는 것입니다. 보통은 반사체만 교체하면 됩니다. 배선이나 전원 공급 장치를 조작할 필요가 없습니다.
하지만 중요한 점은 PID 제어기를 재조정해야 한다는 것입니다. 금 코팅이 열을 훨씬 효율적으로 전달하기 때문에, 기존의 설정값은 과도해질 수 있습니다. 그래서 전력을 조금 줄여서 기판이 손상되는 것을 방지해야 합니다.