웨이퍼를 경화할 때는 완벽한 열 관리가 필요합니다. 그게 전부입니다. 하지만 문제는, 만약 램프에 전기 누설이 있거나 절연체가 손상된다면, 단순히 램프만 망가지는 것이 아니라, 웨이퍼들도 모두 망가지고 제어 보드도 파괴됩니다. 이는 엄청난 손실을 의미합니다.
이런 상황을 방지하기 위해 우리는 두 가지 사항에 특별히 신경 씁니다. 바로 절연 강도와 절연 저항입니다.
“스트레스 테스트”
우리는 추측하지 않습니다. 모든 램프를 100%의 과전압 테스트를 거칩니다. 기본적으로, 램프의 직접적으로 연결된 부분과 접지된 부분 사이에 매우 높은 전압을 가하는 것입니다. 왜냐하면 석영에 작은 균열이 있거나 절연체에 약점이 있다면, 전류가 그곳을 통과할 수 있기 때문입니다. 이러한 현상을 ‘파손’이라고 합니다. 우리는 이러한 문제가 공장 내에서 발생하기를 원하지, 생산 중에 기계가 단락되는 것을 원하지 않습니다.
“누설” 문제 해결
램프가 과전압 테스트를 견딜 수 있더라도 여전히 “누설”이 있을 수 있습니다. 이는 미세한 문제이지만 위험합니다. 우리는 절연 저항을 측정하여 전류가 정확한 위치에 머물도록 합니다. 이러한 경화 장비에서는 모든 것이 꽉 밀집되어 있습니다. 저항이 조금이라도 줄어들면, 민감한 전자장치에 문제가 생길 수 있습니다. 우리는 극심한 고온 상황에서도 높은 메가옴 값을 유지할 수 있는 절연체를 사용합니다.
열 문제
진짜 어려움은 고출력 램프가 엄청난 양의 열을 발생시킨다는 것입니다. 온도가 상승할수록 일부 절연재료들은 그 기능을 잃기 시작합니다. 완벽한 경화를 위해 램프를 더 뜨겁게 가동할수록, 절연체는 더욱 힘들게 안정성을 유지해야 합니다. 만약 출력을 최대한 높인다면, 냉각 시스템도 완벽해야 합니다. 만약 하우징이 과열된다면, 절연체는 시간이 지남에 따라 손상됩니다. 결국 접지 오류가 발생합니다. 우리는 램프를 극한의 조건에서 테스트합니다. 그렇게 함으로써 안전한 여유를 확보할 수 있고, 밤에도 안심하고 잠들 수 있습니다.