Hentikan proses pemanasan alat tersebut, dan mulakan pemanasan wafer saja.
Lampu inframerah biasa sebenarnya hanyalah mentol lampu biasa – ia memancarkan haba ke semua arah. Dalam alat yang digunakan untuk memproses wafer, ini merupakan masalah besar.
Apabila suhu dipertingkatkan, sebahagian besar tenaga tersebut tidak sampai ke wafer. Sebaliknya, ia akan terkena dinding dalaman mesin tersebut. Ini akan menyebabkan dinding tersebut menjadi panas, lalu merosakkan komponen dalaman mesin tersebut. Lebih buruk lagi, ia boleh menyebabkan pekerja cedera akibat terbakar semasa melakukan kerja penyelenggaraan rutin.
Bagaimana untuk mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya
Kita menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan teknologi inframerah yang dapat mengarahkan haba ke satu titik tertentu. Daripada menggunakan tiub kuarsa biasa, kita menggunakan reflektor khusus serta lapisan pelindung.
Bayangkanlah ia seperti lampu suluh, bukannya lilin. Kita memastikan bahawa tenaga inframerah tersebut sampai ke permukaan wafer sahaja, dan tidak sampai ke dinding mesin. Dengan cara ini, tenaga yang digunakan tidak dibazirkan. Selain itu, permukaan luar alat tersebut tetap sejuk, sehingga menjadikan tempat kerja lebih selamat.
Cabaran yang perlu dihadapi
Sudah tentu, ini bukan sesuatu yang boleh dilakukan secara mudah. Ia memerlukan keseimbangan antara reka bentuk optik dan kuasa yang digunakan. Untuk mendapatkan pancaran haba yang tepat, geometri reflektor perlu disesuaikan dengan betul. Jika lampu tersebut bergerak walaupun beberapa milimeter, maka corak haba akan berubah. Akibatnya, akan ada kawasan yang terlalu panas atau sebaliknya, dan ini akan menurunkan kualiti hasil pengeluaran.
Perlu diingat juga bahawa dengan fokus tenaga yang tinggi, benda-benda akan menjadi panas dengan cepat. Jika lampu berkuasa tinggi digunakan pada kawasan kecil, suhu akan melebihi had yang ditetapkan. Oleh itu, anda perlu menyesuaikan pengawal PID agar dapat menguruskan respons yang lebih cepat.
Tips praktikal untuk pekerja di bengkel
Semasa memasang alat ini, pastikan anda memeriksa penempatan reflektor dengan teliti. Reflektor yang tidak tepat akan merosakkan proses pengeluaran, kerana haba akan kembali ke dinding mesin. Selain itu, pastikan reflektor tersebut bersih. Debu atau lapisan tipis pada permukaan reflektor akan menyebabkan pancaran haba tersebar. Dengan cara ini, alat yang digunakan akan berfungsi dengan lebih efektif.