ウェーハの硬化処理を行う際には、完璧な熱分布が必要です。それだけです。しかし問題は、もしランプに電気的な漏れがあったり、絶縁体が劣化したりすると、単にランプ自体が壊れるだけでなく、ウェーハ全体が台無しになり、制御ボードも破損してしまいます。これはとても大きな損失です。
そうならないように、私たちは2つの要素にこだわっています：誘電強度と絶縁抵抗です。
「ストレステスト」
私たちは推測しない。すべてのランプに対して100％の耐圧テストを行います。 つまり、実際に使用される電圧よりもはるかに高い高電圧を、ランプの帯電部と接地されたケースの間にかけるのです。なぜかというと、もし水晶に微細な亀裂があったり、絶縁体に弱点があったりすると、電流が流れ込んでしまうからです。 これを「破壊」と呼びます。私たちは、製造ラインの真っ最中に装置が短絡するよりも、工場内で破壊が起こる方がまだマシだと考えています。
「漏れ電流」の対処
高電圧に耐えられても、依然として「漏れ電流」が発生することがあります。これは微妙な問題ですが、非常に危険です。 私たちは絶縁抵抗を測定し、電流が本来あるべき場所に留まるようにします。このような硬化処理装置では、すべてが密閉されているため、抵抗が少しでも下がると、敏感な電子機器に悪影響を与える「寄生電流」が発生します。 私たちは、どんなに高温になっても、高いメガオーム値を保つように絶縁体を設計しています。
高温との闘い
ここが本当の課題です。高出力のランプは、膨大な量の熱を発生させます。 これは常に続く戦いです。温度が上がるにつれて、一部の絶縁材料はその機能を失い始めます。完璧な硬化効果を得るためにランプをより高温で動作させるほど、絶縁体は安定性を保つためにより一層努力しなければなりません。 もし出力を限界まで上げてしまうと、冷却システムが完璧でなければなりません。もしケースが過熱すると、絶縁体は時間とともに劣化してしまいます。最終的には、接地故障が起こります。 私たちはランプを極限までテストします。そうすることで、安全な余裕が生まれ、夜も安心して眠ることができます。