वेफर सूखाने या फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में होने वाले तापीय उतार-चढ़ाव, केवल अकुशलता का कारण ही नहीं हैं; बल्कि ये उत्पादन क्षमता को भी कम कर देते हैं। वेफर पर 3°C का तापमान-अंतर, उसके महत्वपूर्ण आयामों को प्रभावित कर सकता है। धीमी गति से तापमान बढ़ने से घुलनशील पदार्थ वेफर में ही रह जाते हैं, जिससे दोष उत्पन्न होते हैं। SK15 इंफ्रारेड लैंप, ऐसी समस्याओं को दूर करने हेतु डिज़ाइन किया गया है; इसके द्वारा तापमान नियंत्रित किया जा सकता है।
इस प्रक्रिया में सबसे महत्वपूर्ण बात है नियंत्रण। SK15, शॉर्ट-वेव इंफ्रारेड तत्वों पर काम करता है, जिससे तापमान तुरंत ही नियंत्रित हो जाता है। 300 मिमी आकार के वेफर पर, यह ±0.1°C की समानता बनाए रखता है। इसका स्पेक्ट्रम, फोटोरेजिस्ट के अवशोषण के अनुरूप है; इससे किनारों एवं केंद्र भागों में तापमान समान रहता है। इसका उपयोग क्लीनरूम क्लास 1–100 में भी किया जा सकता है। इसमें कोई गैस निकलती नहीं है, न ही कोई धूल या मलबा उत्पन्न होता है। लिथोग्राफी प्रक्रिया में तापमान स्थिर रहता है; इससे उत्पादन में कमी नहीं आती। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है – इंफ्रारेड किरणें सीधे वेफर को ही गर्म करती हैं, न कि कक्ष को; इससे हवा को गर्म करने हेतु ऊर्जा की बर्बादी नहीं होती।
इसकी स्थापना आसान है, लेकिन फिर भी सावधानी आवश्यक है। SK15 को मानक वेफर ओवनों में ही लगाया जा सकता है। बस यह सुनिश्चित करें कि ओवन कंट्रोलर, लैंप के नियंत्रण प्रोटोकॉलों का समर्थन करता है। पड़ोसी घटकों को गर्मी से बचाने हेतु उचित सुरक्षा व्यवस्था आवश्यक है। लैंप की स्थिति को भी ध्यान में रखना आवश्यक है – थोड़ा सा भी विचलन, तापमान में असमानता का कारण बन सकता है। लैंप की सेटिंग एक बार कर देने के बाद, प्रक्रिया नियंत्रण में ही रहती है।